PSA法能够生产纯度80%~95%的氧气，制氧电耗一般在0.32kWh/Nm3～0.37kWh/Nm3，吸附压力高于大气压，一般在30kPa～100kPa，流程简单，常温下工作，自动化水平高，可实现无人化管理，特别是安全性好。
在真空解吸流程中，装置操作压力低，容器等不受压力容器规范控制。变压吸附工艺按吸附器的数量，分为单塔流程、两塔流程、三塔流程和五塔流程等。五塔流程的变压吸附法为常用，就是用5个吸附床、4台鼓风机和2台真空泵，整个周期中保持2个床在吸附和抽真空，解决了大规模产氧的技术问题 。
，一般30min以内就可以达到80%以上的纯度;单位电耗仅0.32kWh/Nm3～0.37kWh/Nm3。四是变压吸附制氧与深冷法制氧对比有以下特点：投资低，流程简单，占地少，设备少，运动部件少;自动化程度高，基本可实现无人化管理;能够满足高炉富氧鼓风工艺要求。
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